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EDI超純水設(shè)備是如何去除水中雜質(zhì)的?

更新時(shí)間:2022-02-22      瀏覽次數(shù):1500
  水中含有大量雜質(zhì),只有去除水中的雜質(zhì),才能用于對(duì)水純度要求高的行業(yè)。EDI超純水設(shè)備可以去除水中的各種雜質(zhì),超純水系統(tǒng)處理后的水可以滿(mǎn)足電子行業(yè)的需求,實(shí)驗(yàn)室等高標(biāo)準(zhǔn)用水,因此可以通過(guò)超純水設(shè)備去除其中的雜質(zhì)。
  超純水設(shè)備去除雜質(zhì)
  1.溶解無(wú)機(jī)鹽
  EDI超純水設(shè)備有鈉、鈣、鎂等鹽類(lèi),溶于水形成正離子。當(dāng)含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí),這些雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散到集成電路表面,造成短路。過(guò)去是用蒸餾水去除水中的無(wú)機(jī)鹽,現(xiàn)在是三重蒸餾水。水的電阻率只有3兆歐-厘米,而且水中仍然含有大于01ppm的NaCl。最近,反滲透去離子很有用,所以使用離子交換樹(shù)脂,陽(yáng)離子交換脂和陰離子交換樹(shù)脂分開(kāi)使用,易于再生,混床離子交換樹(shù)脂用于離子交換的最后階段,起到看門(mén)人的作用。這種水可以達(dá)到18兆歐厘米(25攝氏度)。
  2.溶解有機(jī)物
  有工業(yè)廢物、洗滌劑、可生物降解產(chǎn)品和微生物代謝物,這些可以通過(guò)活性炭吸附法去除,炭床要放在離子交換樹(shù)脂之前,因?yàn)榛钚蕴勘旧頃?huì)帶雜質(zhì)。必須注意的是,進(jìn)入樹(shù)脂床的水首先要除去有機(jī)物,因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂很容易被有機(jī)物(如腐殖酸)污染。反滲透可以去除分子量大于300的有機(jī)物,分子量小于300的有機(jī)物可以去除90%。
  3.顆粒物
  EDI超純水設(shè)備在很多地方容易生產(chǎn),如碳床、樹(shù)脂床、深度過(guò)濾等設(shè)備。雖然使用了一些方法來(lái)實(shí)現(xiàn)高電阻率,但顆粒物并沒(méi)有被有效去除,這會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體器件中出現(xiàn)針孔、短路、開(kāi)路、內(nèi)部擊穿和光刻膠脫落等缺陷。為了去除顆粒物,僅使用膜過(guò)濾,一般采用孔徑為0.45微米的微孔濾膜作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)于特殊需要,采用孔徑為0.22微米的微孔濾膜去除膠體鐵、膠體硅和小細(xì)菌,反滲透還可以去除小顆粒。
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